EUV / 光刻机产业链观察名单（截至 2026-10-08）

观察名单，不进 20 仓账本，不写目标价，不写买卖。来源：Asia 逐条打开公告 PDF 或互动易原文核对。互动易链接前缀：https://irm.cninfo.com.cn/ircs/question/questionDetail?questionId= ，日期为回复日。

一、已核实

有原文依据 51 家，传闻 19 家。
自家业务明确写到 EUV 的只有 7 家：先锋精科、瑞联新材、胜科纳米、精测电子、英诺激光、全筑股份、张江高科。阶段全是在研、技术储备、规划或基金投资，没有一家 EUV 产品量产。
EUV 光源：没有一家 A 股公司写自己有 EUV 光源产品。双工件台本体 0 家，只有平台框架、冷却板、减振、导轨等零部件。掩膜和整机类都不是 EUV。

格式：代码｜公司｜原文短引用｜阶段｜数字｜来源｜日期

EUV 光源（含激光器、光刻气）

688268｜华特气体｜“4种混合气得到……ASML的认证”，混合气获 GIGAPHOTON 认证｜认证通过（用于准分子激光，原文没说用于 EUV 光源）｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2023-03-17/1216138851.PDF｜2023-03-17
688146｜中船特气｜“光刻气产品（Kr/Ne、Ar/Ne/Xe）通过了GIGAPHOTON的合格供应商认证”｜认证通过｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2025-08-06/1224400151.PDF｜2025-08-06
002549｜凯美特气｜子公司光刻气通过 GIGAPHOTON 认证；“不会对公司光刻气产品营业收入、利润产生直接影响”｜认证通过｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2025-05-14/1223542271.PDF｜2025-05-14
301021｜英诺激光｜“为下一代桌面级EUV相干光源(高次谐波产生HHG)的研发提供了关键的技术储备”｜技术储备（没写用于光刻机）｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-08-29/1225525224.PDF｜2026-08-29
600895｜张江高科｜童玉基金“成功领投EUV光源系统零部件企业朗道科技”｜基金投资，非自身业务｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-03-31/1225060598.PDF｜2026-03-31

光学镜头与反射镜

688502｜茂莱光学｜“光刻机曝光物镜超精密光学元件加工技术……均已成功实现产业化”｜产业化｜半导体领域收入占比 61.26%，光刻机未单列｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-08-29/1225525944.PDF｜2026-08-29
688195｜腾景科技｜合分束器“应用于光刻机光学系统”｜试量产｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-04-25/1225177429.PDF｜2026-04-25
301571｜国科天成｜物镜透镜样品通过测试，“尚不具备批量供应能力，未形成批量订单和收入”｜送样通过｜明确无订单无收入｜互动易 2346561533998870528｜2026-09-03
301717｜超纯应材｜透镜、反射镜特殊涂层零部件，“已参与到客户牵头的光刻机关键子系统零部件的配套研发”｜配套研发｜光刻及量检测收入 220.93 万 / 788.75 万 / 2,886.00 万元｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-07-30/1225447097.PDF｜2026-07-30
688307｜中润光学｜滤光片等“已经成功导入全球顶尖光刻机……客户”｜已导入｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-03-28/1225047612.PDF｜2026-03-28
603297｜永新光学｜光刻机“相关收入占公司营业收入比重不足1%”｜已有收入｜不足 1%｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2025-09-20/1224670856.PDF｜2025-09-20
301209｜联合化学｜参股 37.2760% 的米莱芯程旗下芯颐和“已于2026年6月30日顺利发运首套曝光光学系统”，仍需验证｜首套交付（i-line，非 EUV）｜持股 37.2760%｜互动易 2313873456571727872；http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-08-26/1225504680.PDF｜2026-07-29
688167｜炬光科技｜收购标的衍射光学元件“可应用于光刻机照明系统”｜可应用于｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2024-01-16/1218894571.PDF｜2024-01-16
301421｜波长光电｜UVLED 光源“可应用于接近式掩膜光刻设备”｜可应用于（非前道）｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-04-21/1225129692.PDF｜2026-04-21
688811｜有研复材｜应用领域列有“光刻机反射镜等大型精密光学反射镜镜坯”｜应用领域列示｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-04-03/1225076625.PDF｜2026-04-03

双工件台 / 精密运动

688605｜先锋精科｜“开发出满足EUV光刻机使用的平台框架”，预算 580 万，累计投入 309.52 万｜在研｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-08-04/1225456312.PDF｜2026-08-04
300666｜江丰电子｜“28nm以下节点的光刻机核心冷却部件”，“量产阶段”｜量产｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2025-04-16/1223102295.PDF｜2025-04-16
688835｜高凯技术｜压电比例阀“已应用于国内头部厂商光刻机设备”｜已应用｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-08-20/1225483508.PDF｜2026-08-20
001332｜锡装股份｜受让标的产品为“工件台、掩模台等光刻机运动平台换热冷板”｜标的产品，交易进展未核｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-01-31/1224960297.PDF｜2026-01-31
600889｜*ST京化｜导轨应用于“光刻机等半导体设备”｜应用｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-08-18/1225476643.PDF｜2026-08-18

光刻胶（含树脂、单体）

603650｜彤程新材｜ArF/KrF/I/G 线，“ArF光刻胶营收实现超800%的突破性增长”｜量产｜电子化学品营收近 10 亿元，+32%｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-04-18/1225115153.PDF｜2026-04-18
300346｜南大光电｜ArF 光刻胶“销售收入同比增长48%”，KrF 开发验证｜ArF 产业化｜+48%｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-08-28/1225517020.PDF｜2026-08-28
300655｜晶瑞电材｜“多款KrF光刻胶已实现量产交付，ArF光刻胶完成批量出货”｜量产/批量｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-08-27/1225510304.PDF｜2026-08-27
300236｜上海新阳｜光刻胶“整体销售规模较上年同期增长27%”；被问 EUV 未提 EUV｜批量供货｜+27%｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-08-21/1225484672.PDF｜2026-08-21
300054｜鼎龙股份｜“已有8款高端晶圆光刻胶……取得……批量订单”｜批量订单｜约 1,000 加仑｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-08-26/1225507131.PDF｜2026-08-26
688727｜恒坤新材｜i-Line、KrF 已销售，“ArF浸没式光刻胶已通过验证并小规模销售”｜已销售｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-08-26/1225506326.PDF｜2026-08-26
300398｜飞凯材料｜i-line 及 KrF Barc “均已实现稳定量产”，“对公司营收业绩影响较小”｜量产｜没有｜互动易 2309316401222938624｜2026-07-20
300576｜容大感光｜“KrF（248nm）光刻胶开发”｜在研｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-04-28/1225200275.PDF｜2026-04-28
688199｜久日新材｜“已有17款显示、半导体光刻胶产品……实现稳定销售”｜稳定销售｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-08-26/1225506522.PDF｜2026-08-26
603306｜华懋科技｜光刻胶“依托于参股公司徐州博康……预计不会继续加大……投入”｜参股｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-08-26/1225505930.PDF｜2026-08-26
688550｜瑞联新材｜“EUV光刻胶用分子玻璃系列单体的研发”｜在研｜ArF 单体销售产品数 +58%｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2025-08-22/1224535296.PDF｜2025-08-22
688181｜八亿时空｜KrF 光刻胶树脂“已经有多款产品实现量产交付”｜量产｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-08-15/1225475697.PDF｜2026-08-15

掩膜版与掩膜材料（都不是 EUV 掩膜）

688138｜清溢光电｜“已实现55nmBinary工艺节点通过客户验证”｜验证通过｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-08-26/1225505362.PDF｜2026-08-26
688401｜路维光电｜“已可稳定量产130nm及以上制程节点半导体掩膜版”｜量产｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-08-26/1225505321.PDF｜2026-08-26
688721｜龙图光罩｜“90nm产品已实现稳定量产，65/55nm产品送样验证”｜量产/送样｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-08-28/1225520808.PDF｜2026-08-28
605588｜冠石科技｜光掩膜版项目建设中，“产品验证周期长”｜建设验证｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-09-16/1225565214.PDF｜2026-09-16
688503｜聚和材料｜收购 SKE 空白掩膜版业务，“计划进入DUV-ArF及DUV-KrF光刻级空白掩膜版”｜计划｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-03-31/1225060855.PDF｜2026-03-31
300706｜阿石创｜“光掩膜版材料系列产品已达到中试状态，并取得客户订单”｜中试，有订单｜项目投资 14,623.56 万元，订单金额没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-09-14/1225563125.PDF｜2026-09-14

量测检测

300567｜精测电子｜补助项目“EUV光刻掩模纳米缺陷原波长检测技术与装备”；2026 半年报无 EUV｜研发项目｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2023-02-28/1215990361.PDF｜2023-02-28
688757｜胜科纳米｜“实现对EUV光刻胶、电子束光刻胶等高端光刻胶的专项测试”｜在研（检测服务）｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-04-25/1225193913.PDF｜2026-04-25
603030｜全筑股份｜华芯全筑“致力于EUV光源量测设备、仪器的研发和制造”｜规划｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-04-30/1225262558.PDF｜2026-04-30
688361｜中科飞测｜套刻量测“将数据反馈给光刻机”｜量产设备（工艺量测，非部件）｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-08-26/1225505252.PDF｜2026-08-26

整机 / 子系统（都不是投影式 EUV/DUV 整机）

688630｜芯基微装｜直写光刻设备，“LDW系列满足90纳米制程节点的掩膜板制版设备推出”｜量产｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-08-27/1225508738.PDF｜2026-08-27
300331｜苏大维格｜“激光直写光刻机和纳米压印光刻机”｜自研自用｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-08-24/1225491475.PDF｜2026-08-24
002816｜*ST和科｜“无掩膜光刻机、微影光刻机”｜在售｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-08-25/1225495364.PDF｜2026-08-25
603360｜百傲化学｜自研对准模块、减震系统“批量应用于二手黄光制程设备再制造”｜批量（翻新）｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-08-26/1225503052.PDF｜2026-08-26
600353｜旭光电子｜大功率电子管“已成功应用于国产光刻机”｜已应用｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-08-27/1225510073.PDF｜2026-08-27
002475｜立讯精密｜“光刻机主板电源母排的研发”，“研发验证测试阶段”｜验证中｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-04-15/1225104908.PDF｜2026-04-15
300802｜矩子科技｜线缆组件“已应用于……光刻设备”｜已应用｜订单不披露｜互动易 2355239119318708224｜2026-09-15
600076｜康欣新材｜宇邦半导体“正在推进国产光刻机配套……供应商认证”｜认证中｜没有｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2026-08-26/1225505233.PDF｜2026-08-26
600619｜海立股份｜“海立特冷有销售光刻机用冷却系统”｜在售｜近三年占营收“均低于0.003%”｜http://static.cninfo.com.cn/finalpage/2024-09-24/1221276854.PDF｜2024-09-24

二、冲突与弃用

传闻（无原文，不作事实）

300706 阿石创（仅指 EUV）：2026 半年报 EUV/极紫外/光刻/掩膜 0 处；问询回复里的 EUV 只写行业。
002222 福晶科技：2025 年报无“光刻机”；互动易不答客户（2307042947417100288）。
300260 新莱应材：“上述产品并非光刻机专用件”（2324254445627887616）。
301548 崇德科技：“暂未应用于光刻机”（2306418451496857600）。
301307 美利信：互动易回避；募集说明书只描述产业链。
301013 利和兴：只说上海宇量昇是客户、占比较小，未提光刻机。
688409 富创精密：2026 半年报“光刻”只在释义。
002338 奥普光电：2026 半年报光刻/EUV 0 处。
000962 东方钽业：EUV 自由电子激光只是行业用途。
603663 三祥新材：铪基 EUV 胶是介绍下游，不是自家产品。
301583 托伦斯：互动易回避 EUV。
300557 理工光科：“未与晶圆厂开展送样合作”。
001212 中旗新材：光刻机是控股股东业务，公司称独立运营。
301101 明月镜片：“未涉及您所述的相关业务与合作”。
002407 多氟多：“目前公司没有产品供货光刻机”。
301699 洛轴股份：“暂未应用于光刻机领域”。
605118 力鼎光电：“公司无光刻机反光镜片产品”（2024-01-04）。
002430 杭氧股份：互动易回避（2026-09-02）。
301459 丰茂股份：“相关业务暂无实质性进展”。

冲突

阿石创：2026 半年报无掩膜字样；2026-09-14 募集说明书写掩膜版材料中试且有订单。两份都列。
华特气体：2023 写“4种混合气”获 ASML 认证，2025 ESG 报告写“四款光刻机产品”。措辞不一致，照原样都列。
崇德科技：Asia 交回的冲突条目在此处被截断，未收到全文。

三、推断

国产 EUV 链目前最空的是光源和双工件台本体，A 股没有能对应的公司；已有原文的多是 DUV/i-line 配套、零部件和材料，EUV 字样只停在在研、储备、规划或基金投资。
有收入数字的几家，光刻相关占比都很小（永新光学不足 1%，海立股份低于 0.003%，国科天成明确无收入），概念弹性远大于业绩贡献。
以后若出现国产 EUV 样机、验收或订单公告，用本名单对照哪一环有真实供货；没有公告前，传闻栏不升级。

四、账本

不进 20 仓，现金 13% 不动，HBM 0% 不变。名单含 688，但核心仍排除科创板。
立讯精密（账本 5%）在名单里只是光刻机电源母排研发验证，不改变其三季度“难”档判断。